发明授权
CN106024637B 薄膜晶体管及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 薄膜晶体管及其制作方法
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申请号: CN201610571403.0申请日: 2016-07-20
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公开(公告)号: CN106024637B公开(公告)日: 2018-06-29
- 发明人: 刘洋
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 武岑飞
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L29/786 ; H01L29/06
摘要:
本发明公开了一种薄膜晶体管,其包括:在基板上的栅极、栅极绝缘层、设置于栅极绝缘的凸起部的两端的第一有源层和第二有源层、分别与第一有源层和第二有源层接触的第一源极和第二源极、钝化层、钝化层中的第一过孔和第二过孔、在所述钝化层上且分别通过第一过孔和第二过孔与第一有源层和第二有源层接触的漏极,漏极与第一有源层的接触平面与第一源极与第一有源层的接触平面之间的距离等于凸起部的高度,漏极与第二有源层的接触平面与第二源极与第二有源层的接触平面之间的距离等于凸起部的高度。本发明实现了短沟道的薄膜晶体管,从而使短沟道的薄膜晶体管具有更大的宽长比,具有更大的开态电流。
公开/授权文献
- CN106024637A 薄膜晶体管及其制作方法 公开/授权日:2016-10-12
IPC分类: