氮化硼微粒及其制造方法
Abstract:
[课题]提供一种为直径/厚度比(长径比)小的鳞片形状的亚微米且高纯度、高结晶性的氮化硼微粒。[解决手段]一种氮化硼微粒,其特征在于,平均粒径为0.05~2.0μm,石墨化指数为3以下,总氧量为0.20质量%以下,以及鳞片形状颗粒的长径/厚度比的平均值为6.0以下;以及一种氮化硼微粒的制造方法,其特征在于,在非活性气体气氛下,将氨/硼酸醇酯的摩尔比为1~5的氨和硼酸醇酯导入反应容器,于800~1350℃加热30秒以内,得到氮化硼前体,然后将该氮化硼前体在非活性气体气氛下、于1650~2200℃加热0.5小时以上。
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