高密度多层铜线路板及其制备方法
摘要:
本发明提供一种高密度多层铜线路板及其制备方法,其中,所述高密度多层铜线路板的制备方法至少包括:提供线路板基底;在所述线路板基底上制备至少两层叠置的铜导电线路,并在相邻两层铜导电线路之间制备具有通孔的绝缘层;其中,相邻两层铜导电线路之间通过所述绝缘层进行电隔离,并通过所述绝缘层内的通孔进行层间金属互联。本发明的制备方法,在单一线路板基底的基础上,采用多层导电线路叠加的方法,可以实现更薄更可靠的多层铜线路板的制备。本发明能够制备线宽、线距范围在2μm~50μm的细线条导电线路图形;同时采用铜刻蚀工艺或者图形电镀铜工艺或者两者结合来制备多层铜线路板,能够大大减小布线面积,提高布线密度。
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