- 专利标题: 一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法
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申请号: CN201610371245.4申请日: 2016-05-30
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公开(公告)号: CN106048559B公开(公告)日: 2018-08-31
- 发明人: 陈蓉 , 巴伟明
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 武汉东喻专利代理事务所
- 代理商 宋业斌
- 主分类号: C23C16/455
- IPC分类号: C23C16/455 ; C23C16/02
摘要:
本发明公开了一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法,本发明使待包覆的纳米颗粒随气流通过分布有多个电极的管路,颗粒经过电极时由于尖端放电作用带上同种电荷,从而使纳米颗粒间相互排斥,防止团聚,达到分散颗粒的目的,然后通过清洗区域或前驱体反应区域,实现纳米颗粒的均匀包覆。本发明采用空间隔离的原理,使原子层沉积不同过程互不影响,能实现常压下纳米颗粒的快速均匀包覆,提高了沉积薄膜的包覆率、均匀性以及粉体表面包覆的效率。
公开/授权文献
- CN106048559A 一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法 公开/授权日:2016-10-26
IPC分类: