本发明涉及一种用于1THz波段的太赫兹偏振分束硅光栅，镂空的周期排列的矩形硅条纹构成的硅光栅，硅光栅的硅条纹宽度和周期的比值为0.27，光栅的周期为204.6‑219.4微米，硅片厚度为47.6‑51.4微米。此硅光栅对垂直入射的1THz光波，没有高阶衍射存在，仅有零阶的透射与反射波，光栅的消光比大于100。该透射反射式偏振分束光栅具有宽工作角度带宽、结构简单、成本低、高分束效率、高消光比等优点，在太赫兹成像和波谱测量领域中具有重要的实用价值。硅光栅可由飞秒微加工或微光学技术加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。