微机电系统和用于制造微机电系统的方法
摘要:
一种微机电系统具有:能够偏转的致动器板以及止挡面。能够偏转的致动器板的一体的压电功能层借助于能够偏转的致动器板的主动面(APS)来构造。能够偏转的致动器板被构造用于在被操控的状态和未被操控的状态中的至少一个中执行空心拱起,其中,止挡面朝向能够偏转的致动器板的空心侧面来布置。能够偏转的致动器板被构造用于在能够偏转的致动器板执行空心拱起的状态下,提供能够偏转的致动器板与止挡面之间的机械接触。在另一状态中,能够偏转的致动器板与止挡面保持间距地布置。
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