发明公开
- 专利标题: 微机电系统和用于制造微机电系统的方法
- 专利标题(英): Microelectromechanical system and method for producing the same
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申请号: CN201580008467.3申请日: 2015-02-12
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公开(公告)号: CN106062914A公开(公告)日: 2016-10-26
- 发明人: 托马斯·里塞奇 , 法比安·斯托佩尔
- 申请人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- 申请人地址: 德国慕尼黑
- 专利权人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- 当前专利权人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- 当前专利权人地址: 德国慕尼黑
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 孙纪泉
- 优先权: 102014202763.2 2014.02.14 DE
- 国际申请: PCT/EP2015/052983 2015.02.12
- 国际公布: WO2015/121358 DE 2015.08.20
- 进入国家日期: 2016-08-12
- 主分类号: H01H57/00
- IPC分类号: H01H57/00 ; H01L41/09
摘要:
一种微机电系统具有:能够偏转的致动器板以及止挡面。能够偏转的致动器板的一体的压电功能层借助于能够偏转的致动器板的主动面(APS)来构造。能够偏转的致动器板被构造用于在被操控的状态和未被操控的状态中的至少一个中执行空心拱起,其中,止挡面朝向能够偏转的致动器板的空心侧面来布置。能够偏转的致动器板被构造用于在能够偏转的致动器板执行空心拱起的状态下,提供能够偏转的致动器板与止挡面之间的机械接触。在另一状态中,能够偏转的致动器板与止挡面保持间距地布置。
公开/授权文献
- CN106062914B 微机电系统和用于制造微机电系统的方法 公开/授权日:2018-04-17