发明公开
- 专利标题: 一种太赫兹量子级联光放大器及其制作方法
- 专利标题(英): Terahertz quantum cascaded optical amplifier and manufacturing method thereof
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申请号: CN201610404270.8申请日: 2016-06-08
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公开(公告)号: CN106067656A公开(公告)日: 2016-11-02
- 发明人: 徐天鸿 , 黎华 , 曹俊诚
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01S5/026
- IPC分类号: H01S5/026 ; H01S5/24 ; H01S5/06 ; H01S5/10 ; H01S3/10
摘要:
本发明提供一种太赫兹量子级联光放大器,包括:半绝缘GaAs衬底;位于所述衬底表面的GaAs缓冲层;位于所述缓冲层表面的n型重掺杂下接触层;位于所述下接触层表面的有源区;位于有源区上表面的n型重掺杂上接触层;位于所述上接触层表面、且彼此分隔的上电极金属层,各上电极金属层间设有凹至所述缓冲层的深隔离槽;及位于所述下接触层表面及有源区两侧的下电极金属层;所述光放大器根据各上电极金属层分主波导段,和位于主波导段两端、且对称分布的至少两个耦合腔波导段,主波导段和耦合腔波导段在水平方向上呈一直线分布。通过本发明的光放大器,解决了现有光放大器是分立器件,无法与前级THz QCL同时制备,实现片上集成,而且在使用过程中还需进行光学对准的问题。
公开/授权文献
- CN106067656B 一种太赫兹量子级联光放大器及其制作方法 公开/授权日:2018-09-28