一种太赫兹量子级联光放大器及其制作方法
摘要:
本发明提供一种太赫兹量子级联光放大器,包括:半绝缘GaAs衬底;位于所述衬底表面的GaAs缓冲层;位于所述缓冲层表面的n型重掺杂下接触层;位于所述下接触层表面的有源区;位于有源区上表面的n型重掺杂上接触层;位于所述上接触层表面、且彼此分隔的上电极金属层,各上电极金属层间设有凹至所述缓冲层的深隔离槽;及位于所述下接触层表面及有源区两侧的下电极金属层;所述光放大器根据各上电极金属层分主波导段,和位于主波导段两端、且对称分布的至少两个耦合腔波导段,主波导段和耦合腔波导段在水平方向上呈一直线分布。通过本发明的光放大器,解决了现有光放大器是分立器件,无法与前级THz QCL同时制备,实现片上集成,而且在使用过程中还需进行光学对准的问题。
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