公开了一种MEMS器件包括：基底，具有第一空腔；第一牺牲层，位于基底上，具有第二空腔；振动隔膜层，振动隔膜层的至少一部分由第一牺牲层支撑，振动隔膜层包括位于第二空腔上方的振动隔膜，振动隔膜朝向第二空腔的表面具有向第二空腔突出的突点；第二牺牲层，位于振动隔膜上，具有第三空腔，振动隔膜的至少一部分位于第三空腔内；背极板层，位于第二牺牲层上，背极板层的至少一部分由第二牺牲层支撑，背极板层包括位于第三空腔上方的背极板；防粘附层，位于基底和振动隔膜层之间、背极板层和振动隔膜之间的所有裸露表面上。本发明能够减小振动隔膜与基底之间的接触面积，以及由于防粘附层的疏水性和低表面粘附力，可以有效地减少或防止基底和振动隔膜层之间、背极板层和振动隔膜之间的粘连。