光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统及工艺
摘要:
本发明涉及一种光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统及工艺,该系统包括可将浆料喷涂至石英方坩埚内表面的喷枪、可夹持移动喷枪并调整其喷涂角度的机械手和可安装并旋转石英方坩埚的旋转平台,旋转平台上设有用于放置石英方坩埚的放置架及可拉动倾斜放置架使石英方坩埚开口方向与旋转平台顶面形成仰角或推动摆正放置架使石英方坩埚开口向外横向放置的伸缩装置,该工艺为将氮化硅、纯水和硅溶胶按比重1:1‑1.5:0.2‑0.5制成浆料,喷涂至石英方坩埚内表面;与现有技术相比,本发明适用于光伏行业各型号方坩埚,可连续作业,操作简便,用时短、能耗低,喷涂效率高,涂层厚薄均匀、质量稳定,坩埚喷涂后生产多晶硅锭质量更好,喷涂时工人无需接触氮化硅粉尘。
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