- 专利标题: 一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺
- 专利标题(英): Process for producing coral magnetron-sputtering low-emissivity coated glass
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申请号: CN201610466219.X申请日: 2016-06-24
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公开(公告)号: CN106116176A公开(公告)日: 2016-11-16
- 发明人: 臧晓良 , 李险峰 , 罗雨潇 , 刘宇 , 张山山 , 邱宏
- 申请人: 中建材光电装备(太仓)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市太仓市港口开发区长江路189号
- 专利权人: 中建材光电装备(太仓)有限公司
- 当前专利权人: 中建材光电装备(太仓)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市太仓市港口开发区长江路189号
- 代理机构: 苏州创元专利商标事务所有限公司
- 代理商 马明渡; 徐丹
- 主分类号: C03C17/36
- IPC分类号: C03C17/36
摘要:
一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺,其特征在于:具体包括以下步骤:第一步,先将玻璃基板清洗干净后,送至磁控溅射设备的磁控溅射工艺室内;第二步,镀第一层膜,用中频电源加旋转阴极进行磁控溅射沉积SiO2,厚度为12‑12.6nm,靶材为硅铝材质;第三步,依次镀第二层膜、第三层膜、第四层膜以及第五层膜,用中频电源加旋转阴极进行磁控溅射沉积Si3N4,厚度为11‑11.5nm,靶材均为硅铝材质;第五步,镀第六层膜,用直流电源加平面阴极进行磁控溅射沉积Cr2N,厚度为2.2‑4.5nm,靶材为铬;至第九步,镀第十三层膜,用直流电源加平面阴极进行磁控溅射沉积Ti,厚度为0.7‑1.8nm,靶材为钛。
公开/授权文献
- CN106116176B 一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺 公开/授权日:2018-06-26