一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺
摘要:
一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺,其特征在于:具体包括以下步骤:第一步,先将玻璃基板清洗干净后,送至磁控溅射设备的磁控溅射工艺室内;第二步,镀第一层膜,用中频电源加旋转阴极进行磁控溅射沉积SiO2,厚度为12‑12.6nm,靶材为硅铝材质;第三步,依次镀第二层膜、第三层膜、第四层膜以及第五层膜,用中频电源加旋转阴极进行磁控溅射沉积Si3N4,厚度为11‑11.5nm,靶材均为硅铝材质;第五步,镀第六层膜,用直流电源加平面阴极进行磁控溅射沉积Cr2N,厚度为2.2‑4.5nm,靶材为铬;至第九步,镀第十三层膜,用直流电源加平面阴极进行磁控溅射沉积Ti,厚度为0.7‑1.8nm,靶材为钛。
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