发明授权
摘要:
本发明公开了一种由氖氦混合气生产纯氖的装置及其方法,该装置包括冷箱、氦气压缩机、氦膨胀机、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器,其中冷箱中设置有第一气液分离器、第二气液分离器、第一氮吸附器、第二氮吸附器、第一板翅式换热器、第二板翅式换热器、电加热器、第三气液分离器、精馏塔、氦膨胀机和真空液氮换热器;氦气压缩机、氦膨胀机制动端、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器均设置在冷箱的外部。该装置的冷量分别由真空下的液氮和氦膨胀机提供,避免了超高压气体进入冷箱,整个流程的压力维持在32公斤以下,换热器简化为高效的板翅换热器,不再需要液氮容器的相互切换,从而节省了大量液氮和占地面积,整个流程更加简洁。
公开/授权文献
- CN106123487A 一种由氖氦混合气生产纯氖的装置及其方法 公开/授权日:2016-11-16