Invention Grant
CN106148901B 有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置
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Application No.: CN201610318159.7Application Date: 2016-05-13
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Publication No.: CN106148901BPublication Date: 2019-09-03
- Inventor: 朴善淳 , 李海龙 , 金荣道 , 池成勋 , 洪沅义
- Applicant: 株式会社达文希斯
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 株式会社达文希斯
- Current Assignee: 株式会社达文希斯
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- Agent 姜虎; 陈英俊
- Priority: 10-2015-0067764 2015.05.15 KR
- Main IPC: C23C14/26
- IPC: C23C14/26 ; C23C14/12 ; H01L51/56 ; H05B33/10
Abstract:
本发明的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其中，蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板，对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜，通过反复进行上述步骤，能够减少有机物损失，并能够缩短工序时间。
Public/Granted literature
- CN106148901A 有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置 Public/Granted day:2016-11-23
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IPC分类:
