发明公开
- 专利标题: 一种基于纳米压印工艺的声表面波传感器制造方法
- 专利标题(英): Acoustic surface wave sensor manufacturing method based on nano imprinting technology
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申请号: CN201510184216.2申请日: 2015-04-17
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公开(公告)号: CN106153212A公开(公告)日: 2016-11-23
- 发明人: 周子冠 , 欧清海 , 刘柱 , 甄岩 , 李温静 , 王云棣 , 于华东 , 张喆
- 申请人: 国家电网公司 , 国网信息通信产业有限公司
- 申请人地址: 北京市西城区西长安街86号
- 专利权人: 国家电网公司,国网信息通信产业有限公司
- 当前专利权人: 国家电网公司,国网信息通信产业有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市西城区西长安街86号
- 代理机构: 北京风雅颂专利代理有限公司
- 代理商 姚文新; 陈宙
- 主分类号: G01K11/26
- IPC分类号: G01K11/26 ; G03F7/00
摘要:
本发明公开了一种基于纳米压印工艺的声表面波传感器制造方法,包括:生成刻有叉指换能器以及位于叉指换能器左、右两侧的反射栅的分布图案的一次压印模板;使用一次压印模板采用分步重复压印方法在基片上连续印制,将该基片制作为具有多个与一次压印模板上的图案相同的二次压印模板;使用二次压印模版压印制作声表面波传感器。本发明的基于纳米压印工艺的声表面波传感器制造方法,可以准确控制叉指换能器的生成,从而实现极高的测量精度与一致性,可以通过降低换能器叉指电阻来降低高频声表面波器件的插入损耗,稳定的提升传感器品质因素Q值,具有极高的实用性,并且可以降低叉指换能器制作成本,无污染。