一种高温扩散设备
摘要:
本发明公开了一种高温扩散设备,包括设备主体、高温加热管、加热丝、抽气泵、石英进气口、硅片放置槽、石英出气口和出气孔,所述高温加热管外部设置有保温层,所述加热丝外部安装有高温加热管,所述抽气泵下方连接有电器控制箱,所述散热孔左侧设置有散热风扇,且散热风扇上方安装有设备主体,所述晶舟左侧连接有晶舟固定架,所述硅片放置槽外部安装有晶舟。该高温扩散设备底部设置有散热孔和散热风扇,由于需要将加热丝加热到很高的温度,所以电器也会相应的产生很多热量,散热孔和散热风扇可以将电器产生的热量及时排出,增加了设备的使用寿命,设备主体内部四周均设置有保温层,一定程度的防止了设备内部的热量流失,节约了能源。
公开/授权文献
0/0