发明公开
- 专利标题: 一种高温扩散设备
- 专利标题(英): High-temperature diffusion equipment
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申请号: CN201610735384.0申请日: 2016-08-26
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公开(公告)号: CN106158710A公开(公告)日: 2016-11-23
- 发明人: 孙显强
- 申请人: 温州市赛拉弗能源有限公司
- 申请人地址: 浙江省温州市经济技术开发区滨海一道1677号
- 专利权人: 温州市赛拉弗能源有限公司
- 当前专利权人: 高唐融知融智科技服务有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省温州市经济技术开发区滨海一道1677号
- 代理机构: 上海翼胜专利商标事务所
- 代理商 翟羽
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67
摘要:
本发明公开了一种高温扩散设备,包括设备主体、高温加热管、加热丝、抽气泵、石英进气口、硅片放置槽、石英出气口和出气孔,所述高温加热管外部设置有保温层,所述加热丝外部安装有高温加热管,所述抽气泵下方连接有电器控制箱,所述散热孔左侧设置有散热风扇,且散热风扇上方安装有设备主体,所述晶舟左侧连接有晶舟固定架,所述硅片放置槽外部安装有晶舟。该高温扩散设备底部设置有散热孔和散热风扇,由于需要将加热丝加热到很高的温度,所以电器也会相应的产生很多热量,散热孔和散热风扇可以将电器产生的热量及时排出,增加了设备的使用寿命,设备主体内部四周均设置有保温层,一定程度的防止了设备内部的热量流失,节约了能源。
公开/授权文献
- CN106158710B 一种高温扩散设备 公开/授权日:2019-01-08
IPC分类: