一种可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器
摘要:
本发明公开了一种可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器。无源输入光波导包括第一硅衬底以及上下层叠的无源区波导下包层、芯层条形型波导和无源区波导上包层,无源区波导上包层包覆芯层条形型波导;有源光吸收区域包括第二硅衬底,上下层叠的覆于第二硅衬底上的衍射层叠结构、覆于衍射层叠结构上的金属反射镜面以及覆于衍射层叠结构两侧的第二硅衬底上的金属电极,衍射层叠结构包括有源区波导下包层、衍射光栅和有源区波导上包层。本发明仅需要简单的光波导结构,便于与其他集成光波导器件集成,有利于实现集成化、小型化、便携式、低成本的光电探测接收系统。
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