发明授权

加工装置和加工方法
摘要:
本发明提供一种更加小型且能够进行高精度加工的加工装置和加工方法。加工装置对被加工部件照射激光,从而对被加工部件进行加工,具有:激光输出装置,其具有输出波长在1070nm以下的激光的多个垂直腔面发射激光器元件、和表面上呈矩阵状地排列有多个垂直腔面发射激光器元件的基板;引导光学系统,其引导从激光输出装置输出的激光;以及控制装置,其控制激光输出装置的输出功率。
公开/授权文献
0/0