发明授权
CN106163726B 加工装置和加工方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 加工装置和加工方法
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申请号: CN201580017448.7申请日: 2015-01-26
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公开(公告)号: CN106163726B公开(公告)日: 2019-10-11
- 发明人: 吴屋真之 , 牟田研二 , 渡边俊哉 , 石出孝
- 申请人: 三菱重工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱重工业株式会社
- 当前专利权人: 三菱重工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 赵晶; 高培培
- 优先权: 2014-074055 2014.03.31 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/052073 2015.01.26
- 国际公布: WO2015/151562 JA 2015.10.08
- 进入国家日期: 2016-09-29
- 主分类号: B23K26/0622
- IPC分类号: B23K26/0622 ; B23K26/342 ; B23K26/062 ; B23K26/08 ; B23K26/40 ; B23K26/082 ; B23K26/38 ; B23K26/21 ; B23K26/32 ; B23K26/34 ; B23K103/04
摘要:
本发明提供一种更加小型且能够进行高精度加工的加工装置和加工方法。加工装置对被加工部件照射激光,从而对被加工部件进行加工,具有:激光输出装置,其具有输出波长在1070nm以下的激光的多个垂直腔面发射激光器元件、和表面上呈矩阵状地排列有多个垂直腔面发射激光器元件的基板;引导光学系统,其引导从激光输出装置输出的激光;以及控制装置,其控制激光输出装置的输出功率。
公开/授权文献
- CN106163726A 加工装置和加工方法 公开/授权日:2016-11-23