研磨组合物和使用该研磨组合物的研磨方法
Abstract:
本发明提供溶解稳定性优异、且能够以高研磨速率进行研磨加工的研磨组合物、和使用该研磨组合物的研磨方法。于是,提供了一种将由选自蓝宝石、碳化硅、氮化镓、氮化铝中的1种以上的材料构成的基板使用含有以下(A)~(E)成分的研磨组合物进行研磨的研磨方法,(A)成分:选自金刚石、氮化硼、碳化硼和碳化硅中的1种以上的磨粒,(B)成分:碳原子数为10以上22以下的脂肪酸,(C)成分:非离子性表面活性剂,(D)成分:有机胺化合物,(E)成分:分散介质。其中,(A)成分的磨粒的平均粒径大于1.0μm且为10.0μm以下,(C)成分的含量为0.30~10质量%,(D)成分相对于(B)成分的摩尔比(D)/(B)为45/55~90/10。
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