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发明公开
CN106168567A 一种基于红外光照射调控含氧半导体材料表面润湿性的方法 无效 - 驳回

  • 专利标题： 一种基于红外光照射调控含氧半导体材料表面润湿性的方法
  • 专利标题（英）： Method for regulating surface wettability of oxygen-containing semiconductor material based on infrared light irradiation
  • 申请号： CN201610552971.6
    申请日： 2016-07-13
  • 公开(公告)号： CN106168567A
    公开(公告)日： 2016-11-30
  • 发明人: 刘铎 , 赵东方 , 贾冉 , 高乃坤 , 张玲 , 颜为山
  • 申请人： 山东大学
  • 申请人地址： 山东省济南市历城区山大南路27号
  • 专利权人： 山东大学
  • 当前专利权人： 山东大学
  • 当前专利权人地址： 山东省济南市历城区山大南路27号
  • 代理机构： 济南金迪知识产权代理有限公司
  • 代理商 杨树云
  • 主分类号： G01N13/00
  • IPC分类号： G01N13/00
一种基于红外光照射调控含氧半导体材料表面润湿性的方法
摘要：
本发明涉及一种红外光照射调控含氧半导体材料表面润湿性状态的方法，具体步骤包括：(1)样品清洗：样品是指含氧半导体材料；(2)样品初始接触角测试：(3)紫外光辐照处理：将步骤(2)中的样品置于紫外光照下照射；(4)样品接触角测试；(5)红外光辐照处理：将样品置于红外光照下照射，红外光的波长为0.76‑100μm，红外光的光功率密度为10‑900mW cm‑2，照射时间为5s‑50min；(6)样品接触角测试。本发明红外光源波长范围宽，可选择性强，相对于其它控制方法，如黑暗存储、退火等，本法能够对含氧半导体材料表面的润湿性进行动态调控，操作简单，用时短，易于控制，成本低且效率高。
摘要（英）：

The invention relates to a method for regulating surface wettability of an oxygen-containing semiconductor material based on infrared light irradiation. The method comprises a step (1) of cleaning a sample which refers to the oxygen-containing semiconductor material; a step (2) of performing initial contact angle testing of the sample; a step (3) of performing ultraviolet light irradiation treatment: placing the sample in the step (2) under ultraviolet irradiation to undergo irradiation; a step (4) of performing contact angle testing of the sample; a step (5) of performing infrared light irradiation treatment: placing the sample under infrared irradiation to undergo irradiation, wherein the infrared light wavelength is 0.76-100 [mu]m, the optical power density of the infrared light is 10-900 mW sq.cm, and the irradiation time is 5s to 50 min; and a step (6) of performing contact angle testing of the sample. According to the method, the infrared source wavelength range is wide, the selectivity is high; compared with other control methods, such as dark storage and annealing, according to the method, the surface wettability of the oxygen-containing semiconductor material can be regulated dynamically, and the method is simple to operate, short in used time, easy to control, low in cost and high in efficiency.

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