微型非本征光纤法珀压力传感器
摘要:
本发明公开的一种微型非本征光纤法珀压力传感器,旨在提供一种性能稳定、能够提高干涉信号强度,减少噪声,并能消除硅片与玻璃热膨胀差异产生的翘曲,整体强度大、成本低的压力传感器,本发明通过下述技术方案予以实现:压力受感芯体由制有台阶孔凹腔的高硼硅玻璃片4、高硼硅玻璃片10和夹装在上述高硼硅玻璃片4与高硼硅玻璃片10之间的硅片6构成的三层结构组成,形成被硅片隔离的法珀腔7和通气腔5双层腔体结构,压力受感芯体装配在光纤插芯端面并连接在一起。本发明硅片两侧的通气腔和法珀腔在硅片上施加不同的气压,法珀腔内压力基本保持恒定,检测出硅片的形变量即可实现外界压力检测。
公开/授权文献
0/0