发明公开
- 专利标题: 微型非本征光纤法珀压力传感器
- 专利标题(英): Miniature extrinsic optical fiber Fabry-Perot pressure sensor
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申请号: CN201510290246.1申请日: 2015-05-31
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公开(公告)号: CN106197782A公开(公告)日: 2016-12-07
- 发明人: 徐海军 , 薛磊 , 梅运桥 , 孙波 , 熊菠
- 申请人: 成都凯天电子股份有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市青羊区黄田坝
- 专利权人: 成都凯天电子股份有限公司
- 当前专利权人: 成都凯天电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市青羊区黄田坝
- 主分类号: G01L1/24
- IPC分类号: G01L1/24 ; G01L11/02
摘要:
本发明公开的一种微型非本征光纤法珀压力传感器,旨在提供一种性能稳定、能够提高干涉信号强度,减少噪声,并能消除硅片与玻璃热膨胀差异产生的翘曲,整体强度大、成本低的压力传感器,本发明通过下述技术方案予以实现:压力受感芯体由制有台阶孔凹腔的高硼硅玻璃片4、高硼硅玻璃片10和夹装在上述高硼硅玻璃片4与高硼硅玻璃片10之间的硅片6构成的三层结构组成,形成被硅片隔离的法珀腔7和通气腔5双层腔体结构,压力受感芯体装配在光纤插芯端面并连接在一起。本发明硅片两侧的通气腔和法珀腔在硅片上施加不同的气压,法珀腔内压力基本保持恒定,检测出硅片的形变量即可实现外界压力检测。
公开/授权文献
- CN106197782B 微型非本征光纤法珀压力传感器 公开/授权日:2019-05-28