一种高能束斑的标定方法
摘要:
本发明涉及一种标定方法,公开了一种高能束斑的标定方法,包括:调节束斑至预设坐标处,使束斑处于预设状态,记录束斑处于预设状态时的圆形度;在保持束斑像散不变的情况下,改变至少一次束斑的聚焦值;生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系。本发明通过生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系,并根据该函数关系以及束斑处于预设状态时的圆形度,能够实现对束斑位置的标定校准,并可以标定聚焦对束斑位置的影响,对束斑进行标定时不会受图像畸变的影响,无需求解成像装置相对束斑所在平面之间的复杂的位姿关系。
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