发明公开
- 专利标题: 一种高能束斑的标定方法
- 专利标题(英): High energy beam spot calibration method
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申请号: CN201610492848.X申请日: 2016-06-24
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公开(公告)号: CN106204535A公开(公告)日: 2016-12-07
- 发明人: 郭超 , 林峰 , 马旭龙 , 葛文君 , 张磊 , 向虎
- 申请人: 天津清研智束科技有限公司
- 申请人地址: 天津市东丽区华明高新技术产业区低碳产业基地C1栋
- 专利权人: 天津清研智束科技有限公司
- 当前专利权人: 天津清研智束科技有限公司,清华大学
- 当前专利权人地址: 天津市东丽区华明高新技术产业区低碳产业基地C1栋
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 张海英; 林波
- 主分类号: G06T7/00
- IPC分类号: G06T7/00
摘要:
本发明涉及一种标定方法,公开了一种高能束斑的标定方法,包括:调节束斑至预设坐标处,使束斑处于预设状态,记录束斑处于预设状态时的圆形度;在保持束斑像散不变的情况下,改变至少一次束斑的聚焦值;生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系。本发明通过生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系,并根据该函数关系以及束斑处于预设状态时的圆形度,能够实现对束斑位置的标定校准,并可以标定聚焦对束斑位置的影响,对束斑进行标定时不会受图像畸变的影响,无需求解成像装置相对束斑所在平面之间的复杂的位姿关系。
公开/授权文献
- CN106204535B 一种高能束斑的标定方法 公开/授权日:2018-12-11