发明公开
- 专利标题: 等离子生成装置及热电子放出部
- 专利标题(英): Plasma generator and thermal electron emitter
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申请号: CN201610203655.8申请日: 2016-04-01
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公开(公告)号: CN106206221A公开(公告)日: 2016-12-07
- 发明人: 佐藤正辉
- 申请人: 住友重机械离子技术有限公司
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 住友重机械离子技术有限公司
- 当前专利权人: 住友重机械离子技术有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 夏斌
- 优先权: 2015-110349 2015.05.29 JP
- 主分类号: H01J27/02
- IPC分类号: H01J27/02 ; H01J27/08 ; H01J37/08 ; H01J37/317
摘要:
本发明提供一种提高装置寿命及等离子生成效率的等离子生成装置。等离子生成装置具备:电弧室(12),内部具有生成等离子的等离子生成区域;磁场发生器(16),向等离子生成区域施加磁场(B);以及阴极(30),在沿着施加到等离子生成区域的磁场(B)的施加方向的轴向上延伸,且在其前端设置有放出热电子的阴极罩。阴极罩具有朝向电弧室(12)的内部在轴向上突出,且随着朝向电弧室(12)的内部,与轴向正交的径向宽度变小的形状。
公开/授权文献
- CN106206221B 等离子生成装置及热电子放出部 公开/授权日:2019-07-30