• 专利标题: 被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法
  • 专利标题(英): Passive type MEMS flow-induced vibration strengthened heat transfer apparatus and heat transfer method
  • 申请号: CN201610508056.7
    申请日: 2016-07-01
  • 公开(公告)号: CN106206490A
    公开(公告)日: 2016-12-07
  • 发明人: 吴昌聚邱云龙陈伟芳
  • 申请人: 浙江大学
  • 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • 专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
  • 代理商 林松海
  • 主分类号: H01L23/367
  • IPC分类号: H01L23/367 B81B3/00
被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法
摘要:
本发明公开了一种被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法。通过合理的结构设计,使得在热沉温度升高时,固定在热沉上的悬臂梁结构能够产生远离热沉的偏转运动,并且偏转的角度随着热沉温度的升高而升高。当悬臂梁结构的偏转角增大时,其长度方向与来流速度方向的夹角也相应增大,这使得悬臂梁振动部分的振动更加剧烈,从而对悬臂梁附近的流场产生更大的扰动,破坏了热边界层的形成,最终实现传热的强化。这种强化传热装置不需要人工控制,也不需要外界输入能量,能够自动根据热沉温度调节散热强度,这为解决现代电子器件的高热流密度问题提供了新的途径。
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