发明授权
- 专利标题: 一种多光束阵列振镜扫描系统
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申请号: CN201610750811.2申请日: 2016-08-29
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公开(公告)号: CN106216832B公开(公告)日: 2019-01-29
- 发明人: 宋长辉 , 王安民 , 杨永强 , 王迪 , 李阳
- 申请人: 华南理工大学
- 申请人地址: 广东省广州市天河区五山路381号
- 专利权人: 华南理工大学
- 当前专利权人: 华南理工大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区五山路381号
- 代理机构: 广州市华学知识产权代理有限公司
- 代理商 李斌
- 主分类号: B23K26/06
- IPC分类号: B23K26/06 ; B23K26/067 ; B23K26/082
摘要:
本发明公开了一种多光束阵列振镜扫描系统,包括振镜框体结构,所述振镜框体结构内部设有X轴阵列振镜系统和Y轴振镜系统,X轴阵列振镜系统或Y轴振镜系统为多个轴心线相互平行的振镜组成,经扩束镜扩束后的激光通过进光口进入阵列振镜扫描系统内部,光束到达X轴阵列振镜系统被平分为n束光强相同的平行光束,n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动,并投射到Y轴振镜系统上,在Y轴振镜偏转反射带动下,n组光束在Y方向上移动,最后该n组光束经过出光口并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。通过本发明的技术方案,加工效率将会成倍增长,增长的倍数与振镜的阵列数目相同,极大的降低加工时间和加工成本。
公开/授权文献
- CN106216832A 一种多光束阵列振镜扫描系统 公开/授权日:2016-12-14
IPC分类: