• 专利标题: 凸块形成方法、凸块形成装置以及半导体装置的制造方法
  • 专利标题(英): Bump forming method, bump forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method
  • 申请号: CN201480078105.7
    申请日: 2014-04-24
  • 公开(公告)号: CN106233443A
    公开(公告)日: 2016-12-14
  • 发明人: 吉野浩章富山俊彦
  • 申请人: 株式会社新川
  • 申请人地址: 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
  • 专利权人: 株式会社新川
  • 当前专利权人: 株式会社新川
  • 当前专利权人地址: 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
  • 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
  • 代理商 杨文娟; 臧建明
  • 优先权: 2014-030413 2014.02.20 JP
  • 国际申请: PCT/JP2014/061608 2014.04.24
  • 国际公布: WO2015/125316 JA 2015.08.27
  • 进入国家日期: 2016-10-18
  • 主分类号: H01L21/60
  • IPC分类号: H01L21/60
凸块形成方法、凸块形成装置以及半导体装置的制造方法
摘要:
一种形成半导体装置用的凸块的方法,包括:接合步骤,将自接合工具的前端伸出的金属线的前端接合于第1地点X1;金属线抽出步骤,使接合工具向远离第1地点X1的方向移动;薄壁部形成步骤,在基准面的第2地点X2利用接合工具按压金属线的一部分,而在金属线形成薄壁部属线以自基准面竖立的方式进行整形;及凸块形成步骤,将金属线自薄壁部切断,而在第1地点X1形成具有自基准面竖立的形状的凸块(60)。由此,可更简便且有效率地形成具有所需高度的凸块。(64);金属线整形步骤,将接合于第1地点X1的金
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