适用于OVD工艺的在线称重系统
摘要:
本发明公开了种适用于OVD工艺的在线称重系统,包括上夹头机构、下支撑机构、称重单元;上夹头机构包括底座、线性滑轨、与粉棒上端连接的把棒上夹头;把棒上夹头与旋转轴的下端连接,旋转轴的上端通过水平轴承、水平轴承座与称重单元连接,旋转轴外设有旋转外套管;旋转外套管通过线性滑轨与底座连接;底座与沉积腔的腔壁连接;下支撑机构包括与沉积腔的底板连接的下夹头底座、置于粉棒下端四周的下夹头弹性部件;下夹头弹性部件通过连接机构与下夹头底座连接。本发明使称重功能与粉棒的自身旋转运动不相互干扰,既保持粉棒具有较高的旋转精度,又能实时精确的测量旋转的粉棒的重量。
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