发明授权
- 专利标题: 适用于OVD工艺的在线称重系统
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申请号: CN201610860755.8申请日: 2016-09-28
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公开(公告)号: CN106242263B公开(公告)日: 2018-08-07
- 发明人: 余保国 , 刘善沛 , 杨轶 , 朱方龙 , 简宝寅
- 申请人: 长飞光纤光缆股份有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号
- 专利权人: 长飞光纤光缆股份有限公司
- 当前专利权人: 长飞光纤光缆股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号
- 代理机构: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司
- 代理商 胡建平
- 主分类号: C03B37/018
- IPC分类号: C03B37/018 ; G01G17/00
摘要:
本发明公开了种适用于OVD工艺的在线称重系统,包括上夹头机构、下支撑机构、称重单元;上夹头机构包括底座、线性滑轨、与粉棒上端连接的把棒上夹头;把棒上夹头与旋转轴的下端连接,旋转轴的上端通过水平轴承、水平轴承座与称重单元连接,旋转轴外设有旋转外套管;旋转外套管通过线性滑轨与底座连接;底座与沉积腔的腔壁连接;下支撑机构包括与沉积腔的底板连接的下夹头底座、置于粉棒下端四周的下夹头弹性部件;下夹头弹性部件通过连接机构与下夹头底座连接。本发明使称重功能与粉棒的自身旋转运动不相互干扰,既保持粉棒具有较高的旋转精度,又能实时精确的测量旋转的粉棒的重量。
公开/授权文献
- CN106242263A 适用于OVD工艺的在线称重系统 公开/授权日:2016-12-21