一种FET微波噪声模型建立方法
摘要:
本发明涉及半导体集成电路制造领域,公开了一种FET微波噪声模型建立方法,包括:将FET电极划分为四个区域,栅极输入结构、漏极输出结构、源极接地结构、有源区电极,采用全波电磁场方法模拟微波信号在FET电极中的传输特性,获得各个区域的S参数;将FET有源区电极转换为等效电路模型,将获得的栅极输入结构的S参数、漏极输出结构的S参数以及源极接地结构的S参数分别接入三个连接端口,获得FET无源电极模型;对FET进行在片测试,获得小信号和噪声测试数据,并基于测试数据,经过去嵌入处理,获得FET本征部分的小信号参数和噪声源;将小信号参数和噪声源,按照端口对应关系,接入FET无源电极模型中,获得FET的微波噪声模型。
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