发明公开
CN106255828A 泵送系统中的泵送方法以及真空泵系统
无效 - 驳回
- 专利标题: 泵送系统中的泵送方法以及真空泵系统
- 专利标题(英): METHOD OF PUMPING IN A PUMPING SYSTEM AND VACUUM PUMP SYSTEM
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申请号: CN201480078447.9申请日: 2014-05-01
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公开(公告)号: CN106255828A公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: D·穆勒 , J-E·拉切尔 , T·伊尔切夫
- 申请人: 阿特利耶博世股份有限公司
- 申请人地址: 瑞士金佛内区
- 专利权人: 阿特利耶博世股份有限公司
- 当前专利权人: 阿特利耶博世股份有限公司
- 当前专利权人地址: 瑞士金佛内区
- 代理机构: 北京北翔知识产权代理有限公司
- 代理商 郑建晖; 关丽丽
- 国际申请: PCT/EP2014/058948 2014.05.01
- 国际公布: WO2015/165544 FR 2015.11.05
- 进入国家日期: 2016-10-26
- 主分类号: F04C23/00
- IPC分类号: F04C23/00 ; F04C25/02 ; F04F5/20 ; F04F5/54 ; F04B37/14
摘要:
本发明涉及一种泵送系统(SP、SPP)中的泵送方法,该泵送系统包括:主要润滑回转叶片式真空泵(3),具有连接至真空室(1)的气体入口孔通向管道(5)之后,通向该真空泵系统(SP、SPP)的气体出口(8);止回阀(6),安置在该气体出口孔(4)和该气体出口(8)之间的该管道(5)中;以及,喷射器(7),并联连接该止回阀(6)。根据此方法,该主要润滑回转叶片式真空泵(3)进行工作,以泵送包含在该真空泵(1)中的气体通过该气体出口孔(4);同时,该喷射器(7)被供给有工作流体,并且该喷射器(7)在该主要润滑回转叶片式真空泵(3)泵送包含在该真空室(1)中的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑回转叶片式真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定压力的整个时间期间被持续供给有工作流体。本发明还涉及一种适于用来实施此方法的泵送系统(SP、SPP)。(2)且具有气体出口孔(4),该气体出口孔(4)在