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CN106256012A 而获得第二比较结果。一种监测等离子体过程中的放电的方法以及用于监测等离子体中的放电的监测设备 有权

而获得第二比较结果。一种监测等离子体过程中的放电的方法以及用于监测等离子体中的放电的监测设备
摘要：
一种监测等离子体过程中的放电的方法，包括以下步骤：a.将周期性电源信号(71a)提供给等离子体过程；b.确定电源信号的第一时段内的第一时间间隔(Δt)内的第一电源信号波形；c.确定电源信号的第二时段内的第二时间间隔(Δt)内的第二电源信号波形(31，51)，其中，第二时间间隔(Δt)在第二时段中的位置与第一时间间隔(Δt)在第一时段内的位置相对应；d.将第二时间间隔的第二电源信号波形(31，51)与第一时间间隔的第一电源信号波形或参考信号波形(50，60)进行比较，并确定第一比较结果；e.如果第一比较结果与给定第一比较结果相对应，则对第二时间间隔(Δt)中的第二电源信号波形(31，51)、第一时间间隔(Δt)中的第一电源波形、或参考信号波形(50，60)中的一个信号波形进行时间偏移，并且将经时间偏移的信号与未进行时间偏移的信号波形中的一个信号波形进行比较，从
摘要（英）：

A method of monitoring the discharge in a plasma process comprises the steps: a.) supplying a plasma process with a periodic power supply signal (71a); b.) determining a first power supply signal waveform within a first time interval ([delta]t) within a first period of the power supply signal; c. ) determining a second power supply signal waveform (31, 51) within a second time interval ([delta]t) within a second period of the power supply signal, wherein the second time interval ([delta]t) is at a position in the second period which corresponds to the position of the first time interval ([delta]t) within the first period; d.) comparing the second power supply signal waveform (31, 51) of the second time interval with the first power supply signal waveform of the first time interval or a reference signal waveform (50, 60), and determining a first comparison result; e.) if the first comparison result corresponds to a given first comparison result, time shifting one of the second power supply signal waveform (31, 51) in the second time interval ([delta]t), the first power supply waveform in the first time interval ([delta]t) or the reference signal waveform (50, 60), and comparing the time shifted signal with one of the signal waveforms that were not time shifted, thereby obtaining a second comparison result.

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