一种采用流化床反应器合成氮化硅的系统
摘要:
本发明涉及一种采用流化床反应器合成氮化硅的系统,包括流化床反应器、氮气供应单元以及硅粉供料单元,流化床反应器包括壳体,壳体的下部腔体用于氮气与硅粉在流态化状态下进行氮化反应,壳体底部的壳壁上设置供气口和供料口,氮气供应单元包括用于加热氮气的加热装置,加热装置的出气口与供气口相连接,硅粉供料单元包括用于盛装硅粉的投料桶和文丘里加料器,投料桶的出料口与文丘里加料器的粉料入口相连接,文丘里加料器的出料口与供料口相连接,壳体顶部的出料口与回收合成氮化硅的旋风分离器相连接。上述系统使硅粉在流化状态下和氮气反应,合成Si3N4粉末不会团聚结块,且可实现Si3N4粉末的连续生产。
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