本发明是关于一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，所述的涂层从底层到表面依次包括基片、红外反射层、吸收层和减反层，所述的吸收层由第一亚层、第二亚层和第三亚层组成，所述的第一亚层和第二亚层含有金属氮化物，所述的第三亚层为金属氮氧化物，所述的第一亚层与红外反射层接触，所述的第三亚层与减反层接触。所述的制备方法包括，将所述的红外反射层沉积于所述的基片上；将所述的吸收层沉积于所述的红外反射层上；将所述的减反层沉积于所述的吸收层上。发明提供的一种金属氮(氧)化物太阳能选择性吸收涂层，提高了金属氮(氧)化物太阳能选择性吸收涂层的工作温度，且制备简单，更适宜规模化生产。