发明公开
CN106289058A 一种光栅尺定位分配精度补偿的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种光栅尺定位分配精度补偿的方法
- 专利标题(英): Method for compensating positioning and distributing precision of grating scales
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申请号: CN201610692004.X申请日: 2016-08-18
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公开(公告)号: CN106289058A公开(公告)日: 2017-01-04
- 发明人: 张芳健 , 王晗 , 陈新 , 黄明辉 , 李彬 , 廖剑祥
- 申请人: 广东工业大学
- 申请人地址: 广东省广州市越秀区东风东路729号
- 专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市越秀区东风东路729号
- 代理机构: 广东广信君达律师事务所
- 代理商 杨晓松
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00
摘要:
本发明公开了一种光栅尺定位分配精度补偿的方法,通过在直线电机的行程内设置多个预置点,并同时对比激光干涉仪测量值和光栅尺测量值,以激光干涉仪测量值为准对比出光栅尺测量值的线性误差和局部误差,通过补偿原始光栅尺测量值的线性误差和局部误差,获得更准确的光栅尺测量值,提高测量精度。
公开/授权文献
- CN106289058B 一种光栅尺定位分配精度补偿的方法 公开/授权日:2019-04-23