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光纤法珀温度传感器
摘要:
本发明提出的一种光纤法珀温度传感器,包括温度受感芯体7、光纤插芯8、多模光纤9。多模光纤插入并固定在光纤插芯孔内,光纤端面与光纤插芯端面平齐;温度受感芯体装配在光纤插芯端面连接在一起,温度受感芯体7制有通过硅片3分隔,封装有一定气体的温度腔和真空的法珀腔4,硅片3两侧的气压差等于温度腔2内的气体压力P,法珀腔4腔长y与温度腔2内气体压力P成正比;当温度腔内气体受温度影响发生热胀冷缩时,气体状态随温度变化,改变硅片两侧的气压差,硅片发生形变,将温度腔2内的气体气压温度值转换为法珀腔4可直接测量的法珀腔腔长值,通过法珀干涉原理检测出硅片的形变量实现温度检测。
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