本发明提供一种太赫兹高分辨率成像方法，用于根据低采样点数条件下得到的太赫兹回波来获取目标点坐标，从而实现太赫兹高分辨率成像，其特征在于，包括如下步骤：步骤A，使用太赫兹成像系统向待成像物体发射太赫兹波，获取目标点的太赫兹回波，得到回波矩阵Sr；步骤B，估计出信号源数量；步骤C，对回波矩阵Sr进行傅里叶变换；步骤D，对步骤C中得到的回波矩阵进行相位补偿；步骤E，通过增广矩阵束算法估算得到目标点的坐标值，并进行匹配得到目标点坐标。本发明的太赫兹高分辨率成像方法在低采样点数的条件下仍然具有较高的目标点估计精度，并且不需要对目标区域进行网格化划分，因此能够在低采样点数的条件下实现高分辨率成像。