发明授权
- 专利标题: 一种半导体器件的制造方法和电子装置
-
申请号: CN201510264407.X申请日: 2015-05-21
-
公开(公告)号: CN106298554B公开(公告)日: 2019-04-09
- 发明人: 黄河 , 李海艇 , 朱继光 , 克里夫·德劳利
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯集成电路(宁波)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯集成电路(宁波)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯集成电路(宁波)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京市磐华律师事务所
- 代理商 董巍; 高伟
- 主分类号: H01L21/58
- IPC分类号: H01L21/58 ; H01L21/762
摘要:
本发明提供一种半导体器件的制造方法和电子装置,涉及半导体技术领域。包括:提供第一衬底,从第一衬底的第一表面在第一衬底内形成具有第一深度的浅沟槽隔离,其中第一深度为浅沟槽隔离的底部至第一表面的距离;形成覆盖第一衬底的第一表面的介电盖帽层;提供承载衬底,将第一衬底的形成有介电盖帽层的一侧与承载衬底相接合;从与第一表面相对的第二表面对第一衬底进行减薄处理至第二深度;以减薄处理后的第一衬底作为器件层进行半导体器件的制作。本发明实施例的方法,由于包括在第一衬底上接合承载衬底并对第一衬底进行减薄处理的步骤,第一衬底可以采用普通的体硅衬底作为基本的器件层衬底,可以降低成本。
公开/授权文献
- CN106298554A 一种半导体器件的制造方法和电子装置 公开/授权日:2017-01-04
IPC分类: