一种超声辅助的陶瓷激光钻孔方法及装置。其中，该方法包括以下步骤：将陶瓷工件固定到超声振动平台上；使用激光钻孔系统对陶瓷工件钻孔，同时，超声振动平台内的超声波发生器产生沿钻孔方向传播的超声波，使陶瓷工件沿钻孔方向超声振动；陶瓷工件加工前后均需置于酒精溶液中超声清洗。还包括：将一次钻孔后的陶瓷工件翻转；将翻转后的陶瓷工件固定到旋转超声平台上；使用旋转超声振动工具对一次钻孔进行二次加工，旋转超声振动工具沿钻孔轴向作超声振动并随主轴旋转；旋转超声对陶瓷工件的孔进行二次加工时，向孔内通入冷却液。本申请提升了激光钻孔对陶瓷工件的钻孔深度，改善了工件的钻孔质量。通过旋转超声对钻孔进行二次加工，可进一步减少孔壁锥度，提高孔径精度。