发明授权
- 专利标题: 光掩膜板清洗装置及清洗光掩膜板的方法
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申请号: CN201510347873.4申请日: 2015-06-23
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公开(公告)号: CN106324981B公开(公告)日: 2020-01-24
- 发明人: 王向阳
- 申请人: 上海东朋科技有限公司
- 申请人地址: 上海市青浦区青浦工业园区汇金路1008号
- 专利权人: 上海东朋科技有限公司
- 当前专利权人: 上海东朋科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市青浦区青浦工业园区汇金路1008号
- 代理机构: 北京汇信合知识产权代理有限公司
- 代理商 孙民兴; 王维新
- 主分类号: G03F1/82
- IPC分类号: G03F1/82
摘要:
本发明涉及一种光掩膜板清洗装置,包括处理槽体、槽体上端的供气供液装置和槽体底部的排水排气管,所述的槽体内中心位置上下方向为光掩膜板转动机构,排水排气管均匀分部于槽体底部周边,供气供液装置盖上于槽体顶端,光掩膜板转动机构位于由供气供液装置、槽体以及排水排气管的中心处;在排气排水管上部沿槽体圆周方向偶数配置第一整流叶片;第一整流叶片从处理槽顶部开始,沿槽内壁倾斜到底部,中间凸起的弯曲叶片状;处理槽周围的侧壁从上到下不同直径呈弯曲状,侧壁以转动机构的回转轴为中心形成圆筒状。解决在清洗过程中停止转动光掩膜板时,表面出现水珠的现象的问题。
公开/授权文献
- CN106324981A 光掩膜板清洗装置及清洗光掩膜板的方法 公开/授权日:2017-01-11