发明授权
- 专利标题： 分配和混合试剂的系统和方法
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申请号： CN201610515719.8申请日： 2016-07-01
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公开(公告)号： CN106338418B公开(公告)日： 2021-07-20
- 发明人: 菲利普·克洛诺哥拉克 , 格伦·麦克加尔 , 李博览
- 申请人： 生捷科技控股公司
- 申请人地址： 开曼群岛大开曼
- 专利权人： 生捷科技控股公司
- 当前专利权人： 生捷科技控股公司
- 当前专利权人地址： 开曼群岛大开曼
- 代理机构： 北京安信方达知识产权代理有限公司
- 代理商 郑霞
- 优先权： 62/188,374 20150702 US
- 主分类号： G01N1/28
- IPC分类号： G01N1/28 ; G01N1/38
摘要：
本公开提供了用于晶片加工的方法、装置和系统。所述晶片加工设备使用封盖分配器将至少一种试剂分散到所述晶片的表面。另外，所述晶片安置在可旋转真空吸盘的顶部，所述可旋转真空吸盘被配置成经由离心力或表面张力在所述晶片的所述表面上涂覆至少一种试剂，从而允许所述至少一种试剂与另外的试剂反应。另外，当分配所述至少一种试剂时，所述封盖分配器和所述晶片之间的分隔间隙处于预定距离，例如，50μm至2mm。
公开/授权文献
- CN106338418A 分配和混合试剂的系统和方法 公开/授权日：2017-01-18
