发明授权
- 专利标题： 一种纳米抛光液的制备方法
-
申请号： CN201610703064.7申请日： 2016-08-22
-
公开(公告)号： CN106349948B公开(公告)日： 2018-09-21
- 发明人: 邓丽荣 , 王晓刚
- 申请人： 西安博尔新材料有限责任公司
- 申请人地址： 陕西省西安市航空基地蓝天六路7号B09-1
- 专利权人： 西安博尔新材料有限责任公司
- 当前专利权人： 西安博尔新材料有限责任公司
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市航空基地蓝天六路7号B09-1
- 代理机构： 西安创知专利事务所
- 代理商 谭文琰
- 主分类号： H01L21/302
- IPC分类号： H01L21/302
摘要：
本发明提供了一种纳米抛光液的制备方法，包括以下步骤：一、将碳化硅微粉与水以及分散剂按质量比混合均匀，得到混合料，然后将所述混合料置于砂磨机中循环粉碎，直至混合料中固体物料的粒径为纳米级，得到纳米碳化硅浆料；二、加水稀释，得到纳米碳化硅悬浮液；三、加入螯合剂、润滑剂、防腐剂和pH调节剂，搅拌均匀后得到纳米抛光液。采用本发明所制备的纳米抛光液为水性，具有绿色环保、抛光散热快、稀释能力强、成本低等优点。
公开/授权文献
- CN106349948A 一种纳米抛光液的制备方法 公开/授权日：2017-01-25
IPC分类:
