发明公开
CN106370247A 一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法
- 专利标题(英): Flow sensor based on polymer and preparation method of flow sensor
-
申请号: CN201610804131.4申请日: 2016-09-06
-
公开(公告)号: CN106370247A公开(公告)日: 2017-02-01
- 发明人: 赵晓辉 , 魏鹏 , 邓新武 , 蒋书文 , 蒋洪川 , 张万里
- 申请人: 电子科技大学 , 东莞电子科技大学电子信息工程研究院
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学,东莞电子科技大学电子信息工程研究院
- 当前专利权人: 电子科技大学,东莞电子科技大学电子信息工程研究院
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 电子科技大学专利中心
- 代理商 吴姗霖
- 主分类号: G01F1/692
- IPC分类号: G01F1/692 ; G01F1/684 ; B81C1/00
摘要:
一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法,属于流量传感器技术领域。自下而上依次为支撑层、柔性衬底、薄膜电阻层、柔性覆盖层,所述薄膜电阻层包括加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻,所述支撑层面向柔性衬底的一面开有凹槽,凹槽位于加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻的正下方。本发明流量传感器采用柔性衬底作为载体,通过位于衬底下方的带凹槽的支撑层减小热传导,柔性衬底作为流量传感器的载体,可有效提高传感器表面薄膜结构的强度,不易破碎塌陷,且耐低温、耐酸,大大提高了流量传感器的适用范围;本发明流量传感器采用聚合物支撑层代替传统的硅基板,省略了氮化硅的生长与刻蚀等过程,减小了工艺难度和成本。