一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法
摘要:
一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法,属于流量传感器技术领域。自下而上依次为支撑层、柔性衬底、薄膜电阻层、柔性覆盖层,所述薄膜电阻层包括加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻,所述支撑层面向柔性衬底的一面开有凹槽,凹槽位于加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻的正下方。本发明流量传感器采用柔性衬底作为载体,通过位于衬底下方的带凹槽的支撑层减小热传导,柔性衬底作为流量传感器的载体,可有效提高传感器表面薄膜结构的强度,不易破碎塌陷,且耐低温、耐酸,大大提高了流量传感器的适用范围;本发明流量传感器采用聚合物支撑层代替传统的硅基板,省略了氮化硅的生长与刻蚀等过程,减小了工艺难度和成本。
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