- 专利标题: 一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置
- 专利标题(英): Testing method and apparatus for LTCC substrate with inwardly embedded micro channel
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申请号: CN201610934313.3申请日: 2016-10-25
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公开(公告)号: CN106370958A公开(公告)日: 2017-02-01
- 发明人: 刘念 , 缪旻 , 金玉丰
- 申请人: 北京大学深圳研究生院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区
- 专利权人: 北京大学深圳研究生院
- 当前专利权人: 北京大学深圳研究生院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区
- 代理机构: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司
- 代理商 郭燕
- 主分类号: G01R31/00
- IPC分类号: G01R31/00 ; G01N21/88 ; G01N29/06
摘要:
本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置,该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测;对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试,并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试,检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性,得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。
公开/授权文献
- CN106370958B 一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置 公开/授权日:2019-08-13