一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置
摘要:
本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置,该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测;对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试,并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试,检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性,得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。
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