气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法
摘要:
气悬浮系统的多气足过定位水平共面调节方法,属于多气足共面调节技术领域。本发明是为了解决多气足支撑的气悬浮系统由于过定位问题,使设备的水平调节与多气足的共面调节相互耦合,调节难度大的问题。它采用三气足支撑调水平度、多气足悬空调共面的方式,使水平度调节和共面调节解耦,实现水平度和共面的快速调节;本发明首先建立多气足共面和设备基座水平度的初步基准;在气足非承载状态下调节气足共面,使所有气足都处于悬空状态;再通过安装辅助支撑,使每个气足与气浮平台之间的间隙为预设高度值;最后使三个辅助支撑脱离设备底座,给所有气足供气并浮起,完成水平共面调节。本发明用于多气足的水平共面调节。
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