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级联扫描光学系统
摘要:
一种级联扫描光学系统,包括:一对激光扫描光学系统,各有一激光束发射器和一激光束偏转器,其中激光束发射器发射的激光束进入激光束偏转器,激光束偏转器偏转所述激光束以扫描一个部件的表面,使得所述激光束投射到所述表面上的一条公共线上并位于所述公共线的相应区间内;一对反射镜;一对在分扫描方向具有光焦度的柱面透镜;用于调节该对反射镜至少其一的第一机构;和用于调节该对柱面透镜至少其一的第二机构。
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