发明公开
- 专利标题: 金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法
- 专利标题(英): Metal structure multi-ring vibrating disk micro gyroscope and preparation method thereof
-
申请号: CN201610712165.0申请日: 2016-08-23
-
公开(公告)号: CN106403921A公开(公告)日: 2017-02-15
- 发明人: 吴校生 , 李栋 , 叔晟竹 , 王振瑜 , 陈文元
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 徐红银; 郭国中
- 主分类号: G01C19/5684
- IPC分类号: G01C19/5684
摘要:
本发明公开一种金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法,所述微陀螺由上到下包括封装盖、金属多环振子、金属电极、基片,所述金属多环振子为振动惯性质量,是被检测的对象,金属多环振子内置于所述封装盖与基片之间形成的真空的、封闭的空间中;本发明采用金属多环振子,金属平面结构加工易实现,加工成本低;金属结构密度大,可提高结构的惯性力,改善器件性能;多环结构增加了微陀螺器件的驱动力以及检测灵敏度。本发明能实现以更低的成本和条件要求来达到更高的器件精度和品质的目的。
公开/授权文献
- CN106403921B 金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法 公开/授权日:2020-11-06
IPC分类: