金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法
摘要:
本发明公开一种金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法,所述微陀螺由上到下包括封装盖、金属多环振子、金属电极、基片,所述金属多环振子为振动惯性质量,是被检测的对象,金属多环振子内置于所述封装盖与基片之间形成的真空的、封闭的空间中;本发明采用金属多环振子,金属平面结构加工易实现,加工成本低;金属结构密度大,可提高结构的惯性力,改善器件性能;多环结构增加了微陀螺器件的驱动力以及检测灵敏度。本发明能实现以更低的成本和条件要求来达到更高的器件精度和品质的目的。
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