洗净及干燥用组合物和洗净及干燥方法
摘要:
将工业用部件等被洗净物的洗净和干燥以没有残渣的状态和不侵蚀被洗净物的方式进行。使用高纯度的低分子硅氧烷将被洗净物洗净,然后进行干燥。此外将完成一般的水系洗净的被洗净物用IPA漂洗,然后用高纯度的低分子硅氧烷进行干燥。
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