检查用照明装置及检查系统
摘要:
本发明提供一种检查用照明装置,所述检查用照明装置在由被检查对象的特征仅产生少许的反射、透射、散射上的变化,也可在一定的条件下,能够辨别拍摄装置的观察立体角内的光的变化量。具体而言,即使反射、透射、散射的变化极小的特征也可以检测出来。在所述检查用照明装置中包括:面光源(1),射出检查光;至少一个遮光罩(M1),位于所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间;以及透镜(2),配置在比所述遮光罩(M1)离所述检查对象(W)近的一侧,以使所述遮光罩位于以该透镜的焦点位置为中心的位置。从所述面光源(1)发出的光因透镜(2)照射到所述检查对象(W)时形成的、对所述检查对象(W)的检查光的照射立体角上,形成由因述遮光罩(M1)形成的暗部区域,根据被检查对象的特征点产生的反射、透射、散射的变化,可改变所述检查光的照射立体角的形状、大小及倾斜角。
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