发明公开
- 专利标题: 检查用照明装置及检查系统
- 专利标题(英): Illuminating device for inspection, and inspection system
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申请号: CN201580026658.2申请日: 2015-08-04
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公开(公告)号: CN106415247A公开(公告)日: 2017-02-15
- 发明人: 增村茂树
- 申请人: 机械视觉照明有限公司
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 机械视觉照明有限公司
- 当前专利权人: 机械视觉照明有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 宋融冰
- 优先权: 2015-060049 2015.03.23 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/072022 2015.08.04
- 国际公布: WO2016/151877 JA 2016.09.29
- 进入国家日期: 2016-11-18
- 主分类号: G01N21/84
- IPC分类号: G01N21/84
摘要:
本发明提供一种检查用照明装置,所述检查用照明装置在由被检查对象的特征仅产生少许的反射、透射、散射上的变化,也可在一定的条件下,能够辨别拍摄装置的观察立体角内的光的变化量。具体而言,即使反射、透射、散射的变化极小的特征也可以检测出来。在所述检查用照明装置中包括:面光源(1),射出检查光;至少一个遮光罩(M1),位于所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间;以及透镜(2),配置在比所述遮光罩(M1)离所述检查对象(W)近的一侧,以使所述遮光罩位于以该透镜的焦点位置为中心的位置。从所述面光源(1)发出的光因透镜(2)照射到所述检查对象(W)时形成的、对所述检查对象(W)的检查光的照射立体角上,形成由因述遮光罩(M1)形成的暗部区域,根据被检查对象的特征点产生的反射、透射、散射的变化,可改变所述检查光的照射立体角的形状、大小及倾斜角。
公开/授权文献
- CN106415247B 检查用照明装置及检查系统 公开/授权日:2018-06-01