发明授权
- 专利标题： 作为全平面源的集成式感应线圈和微波天线
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申请号： CN201580028232.0申请日： 2015-05-28
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公开(公告)号： CN106415776B公开(公告)日： 2019-03-08
- 发明人: 彼得·L·G·文泽克 , 陈立
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 康建峰; 杨华
- 优先权： 14/288,572 2014.05.28 US
- 国际申请： PCT/US2015/032812 2015.05.28
- 国际公布： WO2015/184053 EN 2015.12.03
- 进入国家日期： 2016-11-28
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H05H1/46
摘要：
本公开涉及一种等离子体处理系统，该等离子体处理系统能够利用单个功率源组件来使用同一物理硬件生成感应耦合等离子体(ICP)和表面波等离子体。功率源组件可以包括天线板，天线板可以包括对于射频(RF)功率源被用作ICP线圈而对于微波源被用作槽天线的导电材料。
公开/授权文献
- CN106415776A 作为全平面源的集成式感应线圈和微波天线 公开/授权日：2017-02-15
