- 专利标题： 自铜电镀覆浴液电镀覆光致抗蚀剂限定的特征的方法
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申请号： CN201610617735.8申请日： 2016-07-29
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公开(公告)号： CN106435660B公开(公告)日： 2018-09-21
- 发明人: M·托尔塞斯 , Z·尼亚齐姆贝托瓦 , Y·秦 , J·沃尔特英克 , J·狄茨维斯泽柯 , E·爱丁顿 , M·列斐伏尔
- 申请人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司,陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司,陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陈哲锋; 江磊
- 优先权： 62/201853 2015.08.06 US
- 主分类号： C25D3/38
- IPC分类号： C25D3/38 ; C25D7/00
摘要：
电镀覆方法能够镀覆具有基本上均匀形态的光致抗蚀剂限定的特征。所述电镀覆方法包括具有吡啶基烷基胺和双环氧化物的反应产物的铜电镀覆浴液以电镀覆所述光致抗蚀剂限定的特征。所述特征包括柱、接合垫和线空间特征。
公开/授权文献
- CN106435660A 自铜电镀覆浴液电镀覆光致抗蚀剂限定的特征的方法 公开/授权日：2017-02-22
