Invention Grant
- Patent Title: 选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法
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Application No.: CN201610902698.5Application Date: 2016-10-17
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Publication No.: CN106449876BPublication Date: 2017-11-10
- Inventor: 陈丽萍 , 周杰 , 严婷婷 , 汪涛 , 陆红艳 , 陈如龙
- Applicant: 无锡尚德太阳能电力有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市新吴区新华路9号
- Assignee: 无锡尚德太阳能电力有限公司
- Current Assignee: 无锡尚德太阳能电力有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市新吴区新华路9号
- Agency: 无锡市大为专利商标事务所
- Agent 曹祖良; 刘海
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L31/0224

Abstract:
本发明涉及一种选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法,其特征是,包括以下步骤:(1)硅片去损伤层并制绒、清洗;(2)扩散形成pn结,去除扩散后硅片正面磷硅玻璃和背面pn结;(3)在硅片的背面沉积氧化铝/氮化硅叠层钝化薄膜,在硅片的正面沉积氮化硅减反射薄膜;(4)使用激光器在硅片背表面打线,得到打线槽;(5)正面涂布磷源;(6)正面激光掺杂,得到激光掺杂的主栅线和副栅线;(7)光诱导电镀镍/铜/银电极:将电池背面与外置电源的阴极连接,在电池正面和背面同时电镀,依次电镀镍/铜/银三种金属;(8)将电镀后的电池进行退火。本发明解决了丝网印刷双面PERC电池背面印刷铝栅线与激光开窗栅线难对准的问题。
Public/Granted literature
- CN106449876A 选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法 Public/Granted day:2017-02-22
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IPC分类: