选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法
Abstract:
本发明涉及一种选择性发射极双面PERC晶体硅太阳能电池的制作方法,其特征是,包括以下步骤:(1)硅片去损伤层并制绒、清洗;(2)扩散形成pn结,去除扩散后硅片正面磷硅玻璃和背面pn结;(3)在硅片的背面沉积氧化铝/氮化硅叠层钝化薄膜,在硅片的正面沉积氮化硅减反射薄膜;(4)使用激光器在硅片背表面打线,得到打线槽;(5)正面涂布磷源;(6)正面激光掺杂,得到激光掺杂的主栅线和副栅线;(7)光诱导电镀镍/铜/银电极:将电池背面与外置电源的阴极连接,在电池正面和背面同时电镀,依次电镀镍/铜/银三种金属;(8)将电镀后的电池进行退火。本发明解决了丝网印刷双面PERC电池背面印刷铝栅线与激光开窗栅线难对准的问题。
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