Invention Grant
- Patent Title: 一种具有调焦功能的对准系统及对准方法
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Application No.: CN201510550913.5Application Date: 2015-08-31
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Publication No.: CN106483777BPublication Date: 2018-06-26
- Inventor: 于大维 , 杜荣
- Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张东路1525号
- Assignee: 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海微高精密机械工程有限公司
- Current Assignee: 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海微高精密机械工程有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张东路1525号
- Agency: 上海思微知识产权代理事务所
- Agent 屈蘅; 李时云
- Main IPC: G03F9/00
- IPC: G03F9/00
Abstract:
本发明涉及一种具有调焦功能的对准系统及对准方法,该系统包括对准成像单元、信号处理及控制单元以及用于承载硅片的工件台,硅片上设有对准标记,对准成像单元包括照明单元、具有相位差的相移标记及探测单元,探测单元用于探测硅片上的对准标记的成像信息和探测相移标记的成像信息,相移标记与最佳焦面处的硅片面为成像共轭关系;信号处理及控制单元对相移标记的成像信息进行处理,得到对准成像单元的离焦信息,并根据离焦信息和对准标记的成像信息控制工件台垂向运动,将工件台上的对准标记运动至最佳焦面位置。本发明采用具有一定相位差的相移标记以成像的方式进行自动调焦,把离焦量转化为相移标记成像的水平向移动,提高了对准系统适应能力。
Public/Granted literature
- CN106483777A 一种具有调焦功能的对准系统及对准方法 Public/Granted day:2017-03-08
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