一种具有调焦功能的对准系统及对准方法
Abstract:
本发明涉及一种具有调焦功能的对准系统及对准方法,该系统包括对准成像单元、信号处理及控制单元以及用于承载硅片的工件台,硅片上设有对准标记,对准成像单元包括照明单元、具有相位差的相移标记及探测单元,探测单元用于探测硅片上的对准标记的成像信息和探测相移标记的成像信息,相移标记与最佳焦面处的硅片面为成像共轭关系;信号处理及控制单元对相移标记的成像信息进行处理,得到对准成像单元的离焦信息,并根据离焦信息和对准标记的成像信息控制工件台垂向运动,将工件台上的对准标记运动至最佳焦面位置。本发明采用具有一定相位差的相移标记以成像的方式进行自动调焦,把离焦量转化为相移标记成像的水平向移动,提高了对准系统适应能力。
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